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激光分子束外延系统

2019年03月19日 11:03  点击:[]

图为所内配置的激光分子束外延系统


激光分子束外延系统(日本PAC_LMBE) ,集PLD的制膜特点和传统MBE的超高真空精确控制原子尺度外延生长的原位实时监控为一体,除保持了PLD方法制备的膜系宽,还可以生长通常的半导体超晶格材料,特别适合生长多元素、高熔点、复杂层状结构的薄膜,如超导体、光学晶体、铁电体、压电体、铁磁体等,同时还能进行其相应的激光与物质相互作用和成膜过程的物理、化学等方面的基础研究。

基本配置如下:

  1. 沉积腔体程控系统

  2. 多靶材操作系统

  3. 激光二极管基板加热系统

  4. 反射高能电子衍射仪系统

  5. 单轴组合光罩定位装置

  6. 加载互锁传送真空室

  7. 准分子激光器系统


 

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