图为所内配置的离子束刻蚀机

离子束刻蚀机（型号：IBE-150型，生产厂商：埃德万斯），采用考夫曼离子源产生的准直离子束对样品进行刻蚀，除了可进行传统三维结构刻蚀外，还可实现离子束清洗、材料表面终极抛光和材料减薄等功能，还可选配化学辅助离子束刻蚀（CAIBE）与反应离子束刻蚀（RIBE）。

主要技术参数：

1. IBE-系列型离子源口径：Ф150mm

2. 离子能量可调范围：0～1.000 eV;

3. 束流峰值：≥130mA

4. 推荐使用束流：0～100 mA

5. 直接水冷刻蚀工件台性能

IBE-刻蚀工件台面为Ti合金材料，耐长期离子束轰击可保持极好低粗糙度和低溅射污染；该工件台装于真空室门板可转出室外，便于器件装载和卸载，其它性能包括：工件台面直径：Ф150mm。

6. 自转转速：9RPM

7. 刻蚀工作室功能

不锈钢箱式真空室，;配装直接插入离子源的水冷15℃的离子源室，装于门板的刻蚀工件台可旋入或旋出工作室。